晶圓片在線(xiàn)面掃檢測儀

MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過(guò)工廠(chǎng)安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時(shí)間內，就可以“動(dòng)態(tài)”測量出晶圓圖。

優(yōu)勢介紹：一秒一片!可集成在生產(chǎn)線(xiàn)上的高速晶圓載流子壽命的面掃測試，在不到一秒內就能形成單個(gè)硅片的二維圖像。

    該儀器本身不使用機械運動(dòng)部件，因此在連續操作下也非?？煽?。它為每個(gè)晶圓片提供完整的拓撲結構，這為提高生產(chǎn)線(xiàn)的成本效益和效率提供了新的途徑，而這些都是迄今為止*的。例如，在不到3個(gè)小時(shí)的時(shí)間內，對10000個(gè)晶圓片的拓撲結構進(jìn)行自動(dòng)統計評估，結果可以顯示出晶體生長(cháng)爐的性能和材料質(zhì)量的各種細節。 

        實(shí)時(shí)的質(zhì)量檢測可以幫助提高和優(yōu)化諸如擴散和鈍化等處理步驟。在運行的生產(chǎn)過(guò)程中，MDPinline可以立即檢測到某個(gè)處理步驟的任何故障，從而使產(chǎn)品達到的性能。 

優(yōu)勢介紹

◆ 在不到一秒的時(shí)間內，可對一個(gè)晶圓片進(jìn)行全電特性測試。測量參數：載流子壽命(拓撲圖)、電阻率(雙線(xiàn)掃描)。

◆在非常短的時(shí)間內獲得數以千計的晶圓片的統計信息可有效地幫助晶圓廠(chǎng)控制過(guò)程和生產(chǎn)。

◆適用于測量晶圓片的材料質(zhì)量，以及識別晶圓片層面的結晶問(wèn)題，例如在光伏行業(yè)。

◆適用于擴散過(guò)程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

技術(shù)參數

其它細節

· 允許單片控制

· 參數自動(dòng)設置，預定義的排序菜單

· 多達15個(gè)質(zhì)量等級的晶圓片自動(dòng)分揀

· 監控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩定性

· 快速提升工藝和生產(chǎn)線(xiàn)